As bombas de vácuo em miniatura, muitas vezes chamadas de bombas de vácuo pequenas devido ao seu pequeno tamanho, são definidas da seguinte forma: uma bomba de vácuo em miniatura tem uma entrada e uma saída, capaz de criar continuamente um vácuo ou pressão negativa na entrada e uma ligeira pressão positiva na saída; o meio de trabalho é principalmente gás e é um instrumento compacto.
Ao conectar um recipiente selado (inicialmente à pressão atmosférica de 100 kPa) a uma bomba de vácuo em miniatura e evacuá-lo continuamente, a pressão do gás dentro do recipiente selado acabará por cair abaixo da pressão atmosférica, atingindo uma pressão absoluta de 60 kPa. Além disso, através de melhorias tecnológicas especiais, além de bombas de vácuo em miniatura de bombeamento de função única, bombas de bombeamento e evacuação de dupla finalidade podem ser desenvolvidas (ou seja, a extremidade de exaustão pode gerar pressão positiva relativamente grande), usadas para pressurização, enchimento, superação da resistência do sistema, etc.